科研项目

多晶硅化学气相沉积过程中多场协同机理研究(****)


项目来源 重点实验室基金项目 起讫时间 2014-6~
项目经费 万元 项目类别 纵向项目
承担角色 负责人 项目状态 进行中
项目优势
技术优势
可行性
项目简介